장비명 | 공초점 현미경 | 모델명 | LSM 800 |
---|
•표면의 정밀한 측정과 분석, 3D 측정값을 통한 실물형상 측정
- 비접촉 표면 3차원 측정을 이용한 실제 형상 측정
- 마모/마찰 시험 후 마모량 측정 및 분석
- 표면의 구조, 거칠기, 파상도, 단계높이 , 윤곽 및 기타 표면 특성 측정
•3차원 표면분석법으로 미세 구조물의 형상 측정
- 비파괴성 표면 분석, 두께 측정, 표면 단차 측정
•베어링 및 관련 제품 연구 등 다양한 연구에 활용
•Diode laser : 405nm
•Z drive : Smallest increment 10 nm
•Motorized XY scanning stage : 130mm x 85mm
•Scanning Resolution : 6,144 × 6,144 pixels
•Scanning Zoom : 0.5x - 40x 연속 조절
•Scanning Rotation : 360°
•Scanning Field : 12.7mm x 12.7mm
•Pinhole : Master pinhole with preset size and position; automatic alignment
•Data depth : 16 bit