- 핀 홀 공초점 방식 기능을 갖춘 레이저 공초점(고해상도, 고정밀 측정)

- 면 스캔을 통한 입체 형상 측정(고속, 대면적 측정)

- 간섭 무늬를 이용한 미세형상 측정(고정밀, 대면적 측정)

- 관찰 배율 : 20,000배 이상(고배율 렌즈 기준)

- 최소 시야 범위 : 3600㎛ 이상 (저배율 렌즈 기준)

- 프레임 레이트(레이저 측정속도) :

- 면측정 125Hz 이상, 라인측정 7900Hz 이상

- 리니어스케일 모듈 :1nm 이하

- 스캔 정밀도 : 높이 반복정도 : 0.020um 이하

- 오토스테이지 100 x 100mm

- 측정용 레이저 광원(파장) : 600 nm대 레드 레이저 포함

- 샘플 표면의 색 정보를 취득할 수 있는 백색 LED광원도 함계 사용