장비소개

  • 곡면표면조도측정기

    장비명 곡면표면조도측정기 모델명 PGI 2000E
    제작국가 영국 제작사 Taylor-hobson
    담당자 최시근 연락처 054)630-0810
    용도 기업기술 및 장비지원 구축일자 2017. 08.
    분류 표면형상측정

    적용 및 활용분야

      - 베어링 내/외륜 표면거칠기 측정

      - 베어링 및 볼의 형상측정 후 표면 미세구조 분석

      - 베어링 외 고정밀 원형가공면 또는 경면가공면의 표면 미세구조 분석

       

    주요사양

      1. 이송장치(X축)

        1) 이송길이 및 속도: 200mm, 13mm/sec
        2)       측정속도: 0.25, 0.5, 1.0, 2.0mm/sec
        3)       진직도: 0.11㎛
        4)       지시정밀도:  [1+0.02 X(mm)]㎛
        5)       분해능: 0.125um

       

      2. 검출기 및 촉침
             1) 종류:  Phase Grating Interferometer(Skidless only)
       2)       측정범위: 20mm 

       3) 분해능: 1.3nm

       4) 촉침 압력: 70~100mgf(가변) 

       5) 촉침: 길이 100mm R2㎛, 원추형, 다이아몬드

       6) 검출기 선형성: [0.07+0.03 Z(mm)]㎛

       

      3. 수직 이송장치 및 정반
              1) 이송길이: 700mm
        2)       이송속도: 0.5~10.0mm/sec
        3)       정반: 인조 에폭시 화강암(760x500mm) 

        4) 제진패드: 에어패드用

       

      4. 정밀도

        1) 조도 파라메터: 2%±4nm(Roughness)
        2)       반경측정: 0.1~80mm, 반경: 1~0.005%
                         80~1,000mm,       반경: 0.005~0.1%
                         1,000~2,000mm,       반경: 0.1% 

        3) 각도측정: 0.5 arc. Min.