- 시료에 X선을 조사해 2차적으로 발생하는 X선을 이용하여 원소의 정성·정량 분석(Be~U)

- 비파괴적이며 시료 전처리 시간이 매우 짧아 신속한 분석지원이 가능

- 원재료의 조성이나 금속, 화합물, 복합재료 등의 조성평가에 이용됨.

- 공정관리, 재료개발, 제조품검사 등 다양한 분야의 산업현장에서 XRF 분석이 주류를 이루고 있음.

- 세라믹, 철강 및 비철금속, 시멘트, 지질, 폴리머, 박막시료 등 각종 원료 및 제품에까지 다양한 시료 및 응용에 적용

1) X-Ray generator

  - Rating : 60kV, 150mA

  - Continuous maximum rating : 4kW

  - Interlock

2) X-Ray Tube

  - Thin beryllium end window : 30㎛

  - Target : Rh

  - Rating : 4kW

3) Auto sample changer

  - X-ray irradiation type : Top irradiation

  - Analysis element range : 4Be 

4) Sample Chamber

  - Sample loading : Air lock type

  - Internal turret : 2-position with sample sensing function

  - Sample spins : 30rpm

  - Atmosphere : vacuum, air

  - Primary X-ray filter : Al125, Al25, Ni40, Ni400

5) Crystal

  - 5-crystal with high sensitive curved crystals

   ① LiF(200) : 19K ~ 92U

   ② GeH : 15P ~ 21Sc

   ③ PETH : 13Al ~ 21Sc

   ④ RX25 : 8O ~ 12Mg

   ⑤ Crystal for Carbon

6) Detector

  - Scintillation counter(SC) : 22Ti ~ 92U

  - Gas flow proportional counter(F-PC) : 4Be ~ 28Ni

  - P-10 gas flow rate : 5ml/min

7) Vacuum system : High speed evacuation system

  - Dual vacuum pump